Nanoimprint lithography - from idea to a fabrication process technology
- Författare
- Lunds universitet Babak Heidari
- (Babak Heidari., Härtill 6 uppsatser, Licentiatavhandling (sammanfattning) Lund : Lunds universitet, 2000)
- Genre
- Avhandlingar, theses
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| Division of Solid State Physics, Lund University | 2000 | Sverige, Lund | 52 sidor. ill. |